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我国首颗6英寸氧化镓单晶成功制备

我国首颗6英寸氧化镓单晶成功制备

近日,中国电科46所经过多年氧化镓晶体生长技术探索,通过改进热场结构、优化生长气氛和晶体生长工艺,有效解决了晶体生长过程中原料分解、多晶形成、晶体开裂等问题,采用导模法成功制备出高质量的4英寸氧化镓单晶。氧化镓是一种...

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